■ 반도체용 블랭크 마스크

구 성			Specification
기 판		크 기	6 x 6 x 0.25 inch
		투과율	Not less than 85 % @ 200 nm Not less than 90 % @ 230~260nm
금 속 막		두 께	660 ~ 1000 Å
		광학밀도	2.9 ~ 3.0 @ 노광파장
		반사율	20 % 이하 @ 노광파장
		결 함	0.5 ㎛ 이상 Free
레지스트	E-beam용 레지스트	두 께	3000 ~ 4000 Å
	Optic용 레지스트	두 께	4650 Å

■ FPD용 블랭크 마스크